Khay hút tĩnh điện
Khay hút tĩnh điện
Khay hút tĩnh điện
+
  • Khay hút tĩnh điện
  • Khay hút tĩnh điện
  • Khay hút tĩnh điện

Khay hút tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình then chốt như mài mòntỷ lệ ngoại hạng anh, depositional màng mỏng, tiêm ion, oxi hóa và các bước quan trọng khác trong quy trình sản xuất trước tiên của bán dẫn.

Dựa trên nguyên lý hấp thụ tĩnh điệntỷ lệ ngoại hạng anh, phương pháp này có khả năng kẹp giữ bề mặt tấm wafer siêu mỏng một cách phẳng phiu và đồng đều, với đặc điểm nổi bật là lực hấp thụ phân bố đều, không gây ô nhiễm, không làm hư hại sản phẩm và có thể áp dụng trong môi trường chân không cao.

Chất liệu được sử dụng là gốm nhôm oxit (loại Coulombbảng tỷ số bóng đá, độ tinh khiết 96% và 99,6%), cung cấp sản phẩm có đường kính tối đa 12 inch trở xuống, hoạt động trong phạm vi nhiệt độ từ -30°C đến +180°C; bề mặt gốm có thể được rãnh hoặc tạo hoa văn, độ nhám cũng có thể được lựa chọn theo yêu cầu.