Khay hút tĩnh điện
Khay hút tĩnh điện
Khay hút tĩnh điện
+
  • Khay hút tĩnh điện
  • Khay hút tĩnh điện
  • Khay hút tĩnh điện

Khay hút tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình then chốt như mài mònbảng tỷ số bóng đá, depositional màng mỏng, tiêm ion, oxi hóa và các bước quan trọng khác trong quy trình sản xuất trước tiên của bán dẫn.

Dựa trên nguyên lý hấp thụ tĩnh điệntỷ lệ kèo, công nghệ này có khả năng giữ phẳng và đều các tấm wafer bán dẫn siêu mỏng một cách hiệu quả, với đặc điểm nổi bật là lực hấp thụ đồng đều, không gây ô nhiễm, không làm hỏng sản phẩm và hoàn toàn phù hợp cho môi trường chân không cao.

Chất liệu được sử dụng là gốm nhôm oxit (loại Coulombtỷ lệ kèo, độ tinh khiết 96% và 99,6%), có thể cung cấp các sản phẩm có đường kính lên đến 12 inch trở xuống. Nhiệt độ làm việc của sản phẩm dao động từ -30°C đến +180°C; bề mặt gốm có thể được khắc rãnh, tạo hoa văn hoặc điều chỉnh độ nhám theo yêu cầu của khách hàng.