Khay hút chân không
Khay hút chân không
Khay hút chân không
+
  • Khay hút chân không
  • Khay hút chân không
  • Khay hút chân không

Khay hút chân không

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình then chốt như khắc sángTài xỉu, đo lường, hàn và làm nóng trong quá trình sản xuất ban đầu của chip.

Sản phẩm được đúc từ bột silicon cacbua nguyên chất với độ tinh khiết caoTài xỉu, nổi bật với độ mô đun đàn hồi cao, cấu trúc chặt chẽ và đồng đều, hệ số giãn nở nhiệt thấp và tuổi thọ dài. Đặc biệt, nó rất phù hợp cho các quy trình kiểm tra tiên tiến đòi hỏi độ phẳng tuyệt đối cao và số lượng hạt cực kỳ thấp cũng như mức độ ô nhiễm ion kim loại trong các tấm bán dẫn.

Đường kính 12 inch có độ phẳng toàn phần ≤0slot games,3 micromet, độ phẳng cục bộ ≤0,1 micromet; bề mặt có thể phủ một lớp phủ có độ tinh khiết cao; khả năng thiết kế giá đỡ đa dạng giúp xử lý các wafer cong lên tới 0,8 mm; đáp ứng đầy đủ các yêu cầu về độ sạch trong các quy trình sản xuất hiện đại.